【摘 要】
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低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构.该结
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳,621900
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低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构.该结构尺寸约为135 μm×135 μm×20 μm,采用玻璃无掩膜湿法腐蚀技术在深约85 um的玻璃封盖底部实现.通过减小质量块与玻璃封盖底部的接触面积,弱化液体表面张力和范德华力的影响,避免了粘连现象的发生,使得低g值微惯性开关芯片在清洗干燥环节的合格率约达95％.采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,完成了带有防粘连凸台结构的低g值微惯性开关的制作.玻璃无掩膜湿法腐蚀技术具有工艺简单、便于操作等优点,它的成功应用较好地满足了器件产业化的要求,为批量研制低g值微惯性开关提供了可靠的工艺基础.
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