论文部分内容阅读
纳米技术是21世纪信息科学的一项关键技术，纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分，纳米光刻技术是制作纳米结构的基础，具有重要的应用前景，文章对光学光刻技术进行了概述，介绍了几种纳米光刻技术的新途径，发展现状和关键问题，最后讨论了纳米光刻技术的应用前景。
纳米光刻技术的现状和未来
【摘 要】
：
纳米技术是21世纪信息科学的一项关键技术，纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分，纳米光刻技术是制作纳米结构的基础，具有重要的应用前景，文章对光学光刻技术进行了概述，介绍了几
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
：
物理
【发表日期】
：
2002年11期
【基金项目】
：
中国科学院知识创新工程项目 (批准号 :A2K0 0 0 9) ,,微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题 (批准号 :KFS4)资助项目
其他文献
泡泡玛特由英文名＂P.p Mart＂音译而来,是＂流行的集市＂的意思。在过去短短3年里,王宁从欧美、中国香港等国内外引进一线潮品,又以互联网新媒体为传播媒介,展开线上线下体验式互动
金秋送桂香,不亦爽乎;有朋自远方来,不亦乐乎。9月20日至24日,来自美国、加拿大、澳大利亚、新西兰、德国、奥地利等19个国家27家华文媒体的社长、总编和采编负责人走进江苏
说起“春困”,其根本原因是人体的生理机能不适应季节性气候变化而发生的暂时性生理反应。随着气温开始回升转暖,人们的皮肤血管和毛细血管逐渐扩张,末稍神经解除了冬天里紧
印达村是苏北滨江小城——泰兴县的一个美丽乡村，2013年获得“江苏最美乡村”、“江苏最具魅力休闲乡村”、“江苏省四星级乡村旅游点”、“江苏省生态村”、“江苏省文明村”
约翰·邓肯自1993年起长期担任加拿大国会众议员，两年前被任命为原住民事务部部长，工作上兢兢业业，声望颇高，深得民心。但是，最近有件事却让他很是头疼，有人举报他利用职务之便
在我国的上市公司中,存在着会计信息失真的问题,这极大地损害了中小投资者的利益,并扰乱了资本市场的秩序.为此应加强管理,完善相关制度,建立相应的监管机制.
建立一种液液萃取GC-MS分析方法,用于测定甲磺酸中遗传毒性杂质甲磺酸甲酯、甲磺酸乙酯、甲磺酸异丙酯。采用甲基聚硅氧烷毛细管色谱柱,程序升温,进样口温度220℃,不分流高压
采用以纳滤、反渗透双膜技术为核心的水处理工艺对苏州某电子厂的铝阳极氧化废水进行处理,考察该工艺对铝阳极氧化废水中CODcr、硬度、高电导率的处理效果及系统运行性能。通
圣马力诺共和国位于欧洲南部、意大利半岛东部,整个国家被意大利包围。地形以中部的蒂塔诺山为主体,丘陵由此向西南延展,东北部为平原,有圣马力诺河、马拉诺河等水系,风景如