【摘 要】
：
为了适应大尺寸高分辨率显示的技术需求,研究并开发用于非晶铟镓锌氧（a-IGZO）薄膜晶体管（TFT）阵列的低电阻电极非常关键。本文采用磁控溅射制备的金属银为源漏电极,设计并制作了
【机 构】
：
上海交通大学电子工程系TFT-LCD关键材料及技术国家工程实验室
论文部分内容阅读
为了适应大尺寸高分辨率显示的技术需求,研究并开发用于非晶铟镓锌氧（a-IGZO）薄膜晶体管（TFT）阵列的低电阻电极非常关键。本文采用磁控溅射制备的金属银为源漏电极,设计并制作了底栅结构的a-IGZO TFT器件。实验发现,具有单层银源漏电极的器件电学特性较差,这是因为银与a-IGZO之间不能形成良好的欧姆接触。另一方面,通过增加钛中间层而形成的Ag/Ti电极在保持低电阻的同时能够有效阻止银原子扩散并与a-IGZO形成较好的接触状态。最终制备的以Ag/Ti为源漏电极的a-IGZO TFT具有明显改善的电学
其他文献
为回收华亭原安口煤矿残留煤资源,采用煤炭地下气化技术对残留煤进行二次开采和发电利用,通过空气连续法、空气蒸汽连续法、空气蒸汽两阶段、富氧和纯氧蒸汽连续法等不同注气
为筛选一种高效、安全、经济的针对畜禽腹泻病的复方中药,依据中兽医辨证拟定5个止痢复方,通过测定对鸡白痢沙门菌和大肠杆菌的抑菌作用,筛选效果较好的复方中药,再设高、中
圆的一般式方程C:x2+y2+Dx+Ey+F=0(D2+E2-4F>0).当点P(x0,y0)不在圆C上时,x20+y20+Dx0+Ey0+F≠0,该数值有何几何意义呢?经过探索,我们发现结论已知圆C:x2+y2+Dx+Ey+F=0(D2+E2
社会主义核心价值体系是社会主义意识形态的本质体现,在整个文化建设中居于统领和支配地位。要把社会主义核心价值体系融入文化产业发展中,走中国特色文化产业之路;通过大力
目的了解大学生学习压力感的特点,为提出相应的教育对策提供实证依据。方法对369名大学生进行施测,运用SPSS11.0for windows XP对所得数据进行分析处理。结果(1)大学生学习压
通过对综掘工作面通风除尘系统的研究和试验,提出了采用长压短抽通风除尘的技术途径,进行了除尘系统总体配套参数、控尘技术及控尘装置和高效湿式除尘器的设计研究。通过现场
目的把循证护理模式应用到儿内科护理工作中,探讨其在儿内科护理工作中的应用效果。方法选取2017年6月至2018年6月来我院儿内科住院治疗的患儿90例,随机均分为对照组和研究组
针对煤矿井下经常出现的高压管路爆管问题,通过对泵源、泄漏流量、系统压力的关系分析,得出了泄漏程度不同时高压管路稳态与瞬态压力变化模型。设计了以紧急卸压阀为核心的爆
<正>上消化道异物是消化科一种常见急症。其可导致吞咽困难,消化道梗阻、受损,严重的可发生感染、消化道大出血及并发穿孔等,尤其尖锐异物引起消化道穿孔风险极大,为急诊内镜
目的了解桶装饮用水卫生质量,为提高桶装饮用水卫生质量提供依据。方法于2012年3、5、7月随机抽取某市内桶装饮用水生产厂家若干家进行现场卫生状况调查,于不同月份该市场流