【摘 要】
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针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种基于MEMS工艺的安全起爆芯片,采用MEMS工艺制作了Ni-Cr换能元层、绝缘层、导线层,一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片;
【机 构】
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陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室,北方特种能源集团有限公司
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针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种基于MEMS工艺的安全起爆芯片,采用MEMS工艺制作了Ni-Cr换能元层、绝缘层、导线层,一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片;通过对形貌、表面粗糙度、厚度等进行表征分析,确定了结构参数,并对安全起爆芯片性能进行了测试。结果表明MEMS平面开关实现了通断转换,可以提高安全起爆芯片的安全性。本研究为MEMS火工品安全性技术提供支撑。
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