【摘 要】
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InSb原料因含受主杂质,制备出的InSb晶体通常呈P型特性,其迁移率低无法满足低温(77 K)时红外探测器需求。为了获得高迁移率特性,通过直拉法(Cz)生长了不同Te掺杂量的InSb∶Te晶体。利用霍尔测试仪测量晶体电学特性,结果表明,InSb∶Te晶体在77 K下的导电类型为N型。随着Te掺杂浓度从1016 cm-3增加到1018 cm-3,电阻率从10-1Ω·cm减小到10-4Ω·cm,迁移
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,中国电子科技集团公司第四十六研究所,新型半导体晶体材料技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(61774054)。
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InSb原料因含受主杂质,制备出的InSb晶体通常呈P型特性,其迁移率低无法满足低温(77 K)时红外探测器需求。为了获得高迁移率特性,通过直拉法(Cz)生长了不同Te掺杂量的InSb∶Te晶体。利用霍尔测试仪测量晶体电学特性,结果表明,InSb∶Te晶体在77 K下的导电类型为N型。随着Te掺杂浓度从1016 cm-3增加到1018 cm-3,电阻率从10-1Ω·cm减小到10-4Ω·cm,迁移
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