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据报道,KLA-Tencor推出Aleris~(TM)系列薄膜测量设备,此系列由Aleris 8500开始,是业界第一款同时结合多层薄膜厚度与成分测量的专业量产型设备。其他Aleris系列产品将在未来几个月内以不同配
KLA—Tencor推出Aleris 8500薄膜测量系统 提供业界最先进的45nm及以下节点厚度与成分测量技术
【摘 要】
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据报道,KLA-Tencor推出Aleris~(TM)系列薄膜测量设备,此系列由Aleris 8500开始,是业界第一款同时结合多层薄膜厚度与成分测量的专业量产型设备。其他Aleris系列产品将在未来几个月内以不同配
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年01期
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