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中国兵器工业集团公司所属云南云光发展有限公司成功研制出一款激光数显平面干涉仪。该激光数显平面干涉仪主要应用于光学零件平面性精度的测量．精度可达到0．1道光圈．属于非接触式测量仪器。该干涉仪还可测量光学平板的微小楔角．
激光数显平面干涉仪研制成功
【摘 要】
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中国兵器工业集团公司所属云南云光发展有限公司成功研制出一款激光数显平面干涉仪。该激光数显平面干涉仪主要应用于光学零件平面性精度的测量．精度可达到0．1道光圈．属于非接触
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2009年12期
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