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在70m³容器中获得5×10^-8Pa 的超高真空

来源 :航天器环境工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhaominjie88

【摘 要】

：

KM3设备是一个容积为70m³的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空

【作 者】

：

邹定忠 陈欣昔 

【机 构】

：

北京卫星环境工程研究所,北京卫星环境工程研究所北京100029,北京100029

【出 处】

：

航天器环境工程

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

无油超高真空系统 制冷机低温泵 Cryopumps oil-free ultrahigh vacuum pumping systems 

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KM3设备是一个容积为70m³的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^-7Pa 提高到5×10^-8Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地

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