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硅烷类电子化学品是芯片制造、芯片封装及大规模集成电路等高端元器件和设备制造的关键原材料。综述了氯硅烷、硅烷、含N的硅烷及乙烯基硅烷等电子化学品的研究进展,并对硅烷类电子化学品未来发展趋势进行了展望。
硅烷类电子化学品研究进展
【摘 要】
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硅烷类电子化学品是芯片制造、芯片封装及大规模集成电路等高端元器件和设备制造的关键原材料。综述了氯硅烷、硅烷、含N的硅烷及乙烯基硅烷等电子化学品的研究进展,并对硅烷
【机 构】
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杭州师范大学有机硅化学及材料技术教育部重点实验室,氟硅精细化学品与材料制造协同创新中心
【出 处】
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浙江化工
【发表日期】
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2021年5期
【基金项目】
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浙江省公益计划资助项目(LGG20B040003)。
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