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采用溶胶－凝胶工艺，将ＬｉＣｌ湿敏组元复合到ＳｉＯ２－ＡＩ２Ｏ３玻璃先驱体中，用的拉法镀膜，经过适当的热处理，可以获得具有纳米结构的良好湿敏特性的ＬｉＣｌ／玻璃基江膜，湿敏特性研究表明该类薄膜制得的传感器可在全湿范围内实现对湿度的测量。
溶胶一凝胶法制备LiCI／SiO2—AI2O3
【摘 要】
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采用溶胶－凝胶工艺，将ＬｉＣｌ湿敏组元复合到ＳｉＯ２－ＡＩ２Ｏ３玻璃先驱体中，用的拉法镀膜，经过适当的热处理，可以获得具有纳米结构的良好湿敏特性的ＬｉＣｌ／玻璃基江膜，湿敏特性研究表明该类薄膜制得的传感器可在全
【机 构】
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西安交通大学电子材料研究所,同济大学功能材料研究所
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2000年1期
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