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介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响.退火对发光特性及材料具有改善作用.
掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性
【摘 要】
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介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分
【机 构】
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大连理工大学,大连理工大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2003年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金，辽宁省科技厅资助项目
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