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运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70 μm、深30 μm、长7 cm的沟槽,与另一载玻片键合,形成一微流路沟道,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片.在该芯片的研制中,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题.该芯片已经交付合作单位使用,能够满足应用中的基本性能要求.
微流路生物芯片的研制
【摘 要】
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运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70 μm、深30 μm、长7 cm的沟槽,与另一载玻片键合,形成一微流路沟道,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片.在该芯片的研制中
【机 构】
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中科院高能物理研究所同步辐射室,总后卫生部药品仪器检验所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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