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研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象，通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生，如蒸发干燥法，CO2临界点干燥法，自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生，提高微型电场传感器的成品率。
微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法
【摘 要】
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研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象，通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生，如蒸发干燥法，CO2临界点干燥法，自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。结果
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2009年B11期
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