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本文主要阐述了多晶硅的应与生产工艺,研究了多晶硅生产过程中精馏除硼的工艺,并针对三氯氢硅精制料和冷氢化料的反应的特点,利用科学的模拟计算方法进行模拟研究精馏除硼方法.
改良西门子法生产多晶硅中反应精馏除硼的模拟研究
【摘 要】
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本文主要阐述了多晶硅的应与生产工艺,研究了多晶硅生产过程中精馏除硼的工艺,并针对三氯氢硅精制料和冷氢化料的反应的特点,利用科学的模拟计算方法进行模拟研究精馏除硼方
【机 构】
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新特能源股份有限公司,新疆乌鲁木齐,831400
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2015年26期
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