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目前业内多采用传统歧化工艺制造硅烷,并用于流化床法生产颗粒硅产品,因多步歧化反应转化率偏低,大量中间物料需要进行循环,导致硅烷制备环节能耗和设备投资较大。反应精馏则是一种将反应和精馏进行耦合的新型精馏工艺,将其应用于硅烷歧化反应将能够有效降低运行能耗、减少所需设备,有助于颗粒硅的成本降低。本文利用自主研发的液体催化剂,开发设计了反应精馏制备高纯硅烷的中试工艺流程,对精馏塔结构进行了详细设计,评估了工艺的经济性,并提出了后续的研究开发方向。