跑道状场发射结构研究

来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jifengrgj

【摘要】

：

作者设计了一种新颖的单栅和双栅跑道状场发射结构，该结构可提供好的阵列均匀性和场发射电流密度。双栅机构可提供小的开启电压。实验结果表明单栅结构的开启电压近似为１００Ｖ，而场发

【作者】

：

蔡军王保平

【机构】

：

中国科学技术大学

【出处】

：

中国科学技术大学学报

【发表日期】

：

1997年4期

【关键词】

：

跑道状场发射结构微电子学真空微电子器件 Race-track-shaped rield emitter structure high field emi

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作者设计了一种新颖的单栅和双栅跑道状场发射结构，该结构可提供好的阵列均匀性和场发射电流密度。双栅机构可提供小的开启电压。实验结果表明单栅结构的开启电压近似为１００Ｖ，而场发射电流密度近似的２．４Ａ／ｃｍ＾２，这是火山口状场发射结构的１２倍。数值模拟显示双栅结构的开启电压产之单栅结构减小了３０％》

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