论文部分内容阅读
用准分子加工系统制备了长度1mm的微型光热驱动器，用红光半导体激光（650nm）作为驱动源进行了驱动实验。结果表明，直接用激光束驱动可产生微米级偏转，激光束聚焦质量无严格限制，激光束在膨胀臂上的照射位置对偏转量不会造成明显影响。偏转量可调，当激光功率从0mW增大到10mW时，微型光热驱动器的偏转量可从0μm增大到14．33μm。本方法简单易行，可独立驱动运作，易于小型化，真正实现无线遥控操作。