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根据微纳米三维测量的发展和研究现状，首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类，然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较，指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性，探讨了正在研究的新型三维谐振触发方法和触发测头。最后对微纳米三坐标测头的研究与开发趋势进行了总结和展望。