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以绝缘栅型场效应管（MOSFET）作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在脉间存在维持电压，使得微细电化学加工的散蚀增加，导致工件的形状精度降低．在分析维持电压存在特性的基础上，通过分析实验中采集到的波形，对脉冲电源进行改进，设计了双路控制的MOSFET开关电路，并根据MOSFET的开关特性，采用合理的电路参数．对比实验表明，改进后的电源快速消除了脉间维持电压，从而有效地降低了加工过程中的平均电压值，进而使加工表面痕迹的形貌得到了很大的改善，提高了加工的尺寸精度和表面质量．