【摘 要】
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目前,关于N2∶O2流量比如何影响Cr-O-N涂层结构和性能的报道较少。采用多弧离子镀技术在硅片（100）和硬质合金基底上沉积了一系列不同N2∶O2流量比的Cr-O-N复合涂层;采用X射线衍
【机 构】
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武汉理工大学汽车工程学院; 安徽理工大学机械工程学院;
【基金项目】
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安徽省自然科学基金(1608085ME89)资助
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目前,关于N2∶O2流量比如何影响Cr-O-N涂层结构和性能的报道较少。采用多弧离子镀技术在硅片（100）和硬质合金基底上沉积了一系列不同N2∶O2流量比的Cr-O-N复合涂层;采用X射线衍射仪分析涂层晶体结构;采用共聚焦显微拉曼光谱仪分析薄膜氧化物相结构;采用扫描电镜观察涂层形貌,并通过能谱仪分析其成分;利用原子力显微镜观察涂层表面三维形貌;采用显微硬度仪测量涂层硬度;通过球-盘摩擦磨损仪测量涂层摩擦磨损性能,系统地研究了O2流量占比对复合涂层结构和性能的影响。结果表明:Cr-O-N复合涂层由CrN和Cr2O3复合相组成;随着沉积过程中O2流量占比的增加,涂层中N和Cr的含量呈下降趋势,而Cr2O3含量逐渐增加;随着O2流量占比的增加,涂层表面形貌发生变化,涂层表面粗糙度在氧气占比为0.34时达到最大值85.86 nm,此时涂层具有最低的摩擦系数0.48;Cr-O-N涂层的硬度高于CrN和Cr2O3涂层,摩擦系数比CrN涂层高,但低于Cr2O3涂层。
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