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LTCC产品对表面平整度、尺寸误差要求很严格，一旦基板外形不平整，将影响产品可靠性。LTCC工艺加工中，有些基板在共烧之后易发生表面翘曲，以至影响到基板表面平整度。本文阐述了LTCC平整度重要性及改善基板表面平整度工艺的优化过程，通过综合比较，证明优化步骤切实可行。
浅谈改进LTCC基板共烧平整度的方法
【摘 要】
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LTCC产品对表面平整度、尺寸误差要求很严格，一旦基板外形不平整，将影响产品可靠性。LTCC工艺加工中，有些基板在共烧之后易发生表面翘曲，以至影响到基板表面平整度。本文阐述了LT
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2010年4期
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