【摘 要】
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目前,精密加工技术,已进入了0.1～0.01微米的超精密加工阶段。要达到这样高的加工精度,除刀具和工件的相对运动轨迹要严格满足构型运动的要求外(主轴的回转精度,导轨的平直度
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目前,精密加工技术,已进入了0.1～0.01微米的超精密加工阶段。要达到这样高的加工精度,除刀具和工件的相对运动轨迹要严格满足构型运动的要求外(主轴的回转精度,导轨的平直度、平行度,整个工艺系统的热、动、静刚性均应达到一定的要求),机床具有高精度的微量进刀
At present, the precision machining technology, has entered the ultra-precision processing stage of 0.1 to 0.01 microns. To achieve such a high machining accuracy, in addition to the tool and the workpiece relative motion trajectory to meet the structural motion requirements (spindle slew accuracy, rail straightness, parallelism, the entire process system thermal, dynamic and static rigidity Should meet certain requirements), the machine has a high-precision micro-feed
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