【摘 要】
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铟镓锌氧化物IGZO（indiumgalliumzincoxide）是用于新一代薄膜液晶显示屏薄膜晶体管沟道层的材料。研究铟镓锌金属氧化物IGZO在TFT—LCD制造应用中的工艺技术发展趋势及方向。分
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铟镓锌氧化物IGZO（indiumgalliumzincoxide）是用于新一代薄膜液晶显示屏薄膜晶体管沟道层的材料。研究铟镓锌金属氧化物IGZO在TFT—LCD制造应用中的工艺技术发展趋势及方向。分析了铟镓锌氧化物IGZO在TFT—LCD中的作用和使用现状，分析了TFT—LCD液晶显示器的功能特性和技术特点。结合金属氧化物IGZO的应用，阐述了未来TFT—LCD液晶显示器发展的趋势和方向，TFT—LCD的工艺技术将向着高集成度，高环保性、高分辨率、高水平垂直角、高显示亮度、长使用寿命周期等方向发展，随着
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