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针对微机械三维几何尺寸测量问题,提出了基于CCD光电测量技术的图像测量方法,并结合硅微悬臂梁深度和平面尺寸进行了实验研究,其结果可适用类似的三维结构测量.
微机械三维结构几何尺寸的图像测量
【摘 要】
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针对微机械三维几何尺寸测量问题,提出了基于CCD光电测量技术的图像测量方法,并结合硅微悬臂梁深度和平面尺寸进行了实验研究,其结果可适用类似的三维结构测量.
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室
【出 处】
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西北工业大学学报
【发表日期】
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2001年4期
【基金项目】
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国防科技应用基础研究基金，陕西省自然科学基金
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