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针对Oliver-Pharr法计算压痕硬度的精度受机架柔度影响的问题,该文将微压痕仪简化为弹簧串联模型,基于Oliver-Pharr方法,建立机架柔度对接触深度和压痕硬度误差影响的解析模型。采用有限元仿真分析,获得压痕功比值与压痕深度比值之间的函数关系,建立实际压痕深度与机架柔度无关的压痕参数的解析模型,实现机架柔度的标定。实验表明：该方法能够快速高效地对机架柔度进行标定。