【摘 要】
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提出了一种光刻胶厚度测量方法，即双光谱法。采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片，以椭偏仪测量的结果为基准。通过双光谱法的测量，检测经过基片的出射光相对入射光强度的变
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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提出了一种光刻胶厚度测量方法，即双光谱法。采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片，以椭偏仪测量的结果为基准。通过双光谱法的测量，检测经过基片的出射光相对入射光强度的变化，达到测量胶厚的目的，结果偏差在2％以内。与传统的膜厚检测方法相比，有计算方法简便，可操作性强等优点。针对光刻胶有曝光的特性，双光谱法更适合于胶厚检测。
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