【摘 要】
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对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究.首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300 nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散.为激活施主,
【机 构】
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Department of Engineering Design,Department of Mechanical Engineering,Graduate School of Information
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对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究.首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300 nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散.为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理.进行施主激光扩散和活化时,激光光斑的重叠度达到光斑大小的90％,因此随后诱发了薄膜表面的毛化.多晶毛化峰由扫描电子显微镜、喇曼光谱、原子力显微镜等多种表征手段进行了验证,处理后的样品其正面和背面的拉曼光谱均出现了521 cm-1的晶体峰值.样品的n型特征得到了Hall效应测试的证实,同时证明了掺杂的有效性.表面毛化粗糙度达到450 nm,并且观测到了光电导和吸收光谱的增强,这些均证实了样品光伏性质的改善.
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