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磁碟生产中的软盘芯片需在高温高湿环境中存放,固化炉系统大量泄露湿气无法满足工艺要求.对此,通过采取缩短送回风管线、解决回风瓶颈以及从结构上对固化间进行改造等措施,控制泄露率,并用现有的蒸汽加热取代电加热,实现了节能并降低成本的目的.
深圳某公司固化炉技术改造
【摘 要】
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磁碟生产中的软盘芯片需在高温高湿环境中存放,固化炉系统大量泄露湿气无法满足工艺要求.对此,通过采取缩短送回风管线、解决回风瓶颈以及从结构上对固化间进行改造等措施,控
【机 构】
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深圳赛意法微电子有限公司
【出 处】
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四川建筑
【发表日期】
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2004年4期
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