片基除尘装置

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本专利介绍一种带有喷射型洗净器的除虫装置,该装置以250—350米/秒的高速气流吹咐和吸走片基上的洗净液。该装置如下:片基1首先进入洗涤室 A,冼涤液由贮液槽4到液泵5,经过滤器6到洗涤室,溢流液由液泵抽回而述的贮液 This patent describes an insecticidal device with a jet cleaner, which blows and suctions the cleaning solution on the substrate at a high speed of 250-350 m / s. The device is as follows: First base 1 into the washing chamber A, Xian liquid from the reservoir 4 to the pump 5, through the filter 6 to the washing chamber,
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