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从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导.用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0.09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%.
压力传感器的应力计算
【摘 要】
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从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导.用BESOI技术研制的凸型板结构集
【机 构】
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江苏石油化工学院,江苏石油化工学院
【出 处】
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江苏石油化工学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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