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研究了高功率气体激光器中谐振腔腔镜热变形效应。采用时间离散化方法，利用虚共焦折叠非稳腔3维物理光学负载模型和ANSYS热效应计算程序，将光腔稳态模式的快变过程与镜面变形的慢变过程耦合起来，研究了真实器件的腔镜变形和光场模式的相互作用；计算给出了16S热变形下硅镜和石英镜面输出功率的下降程度和远场光束质量的退变程度：在16S热效应下，硅镜实际光斑半径与理想光斑半径的比值变化小于1．5，而石英镜值变化达到4，可知长时运行下选用硅镜明显优越于选用石英镜。