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介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺.选择了光刻胶,铬,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜,利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验,研究了刻蚀环境温度对保护膜的影响.对比与分析了多种试验结果并对其适用范围进行了适当的评价.
应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究
【摘 要】
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介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺.选择了光刻胶,铬,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜,利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验,研究了刻
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(60077009);国家教育部博士点基金资助项目(2000033515)。
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