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日本电产理德公司销售支持线宽3μm的超高精细印刷电路板的高速高分辨率光掩膜外观检查装置“Mask View”系列产品。该检查装置配备摄像头的分辨率为0．37μm～7．4μm．达业界最高水平．能高速检测1μm级别的损伤、污垢及布线图案的导通与短路。
光掩膜外观检查装置
【摘 要】
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日本电产理德公司销售支持线宽3μm的超高精细印刷电路板的高速高分辨率光掩膜外观检查装置“Mask View”系列产品。该检查装置配备摄像头的分辨率为0．37μm～7．4μm．达业界最高水
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2008年5期
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