【摘 要】
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一种新型绝对距离干涉测量仪的研究武勇军，李达成，曹芒（清华大学精密仪器系）０引言高精度、大尺寸、无导轨绝对距离测量是现代大型精密机械加工工业中一个迫切需要解决的问题，至今尚
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一种新型绝对距离干涉测量仪的研究武勇军，李达成，曹芒（清华大学精密仪器系）０引言高精度、大尺寸、无导轨绝对距离测量是现代大型精密机械加工工业中一个迫切需要解决的问题，至今尚无商品化实用测量仪器。例如大型汽轮机转子直径测量，大型工件的内、外径测量，大型...
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