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根据薄膜附着机理,综述了影响金属薄膜附着性的因素.通过引入中间过渡层,减少应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度,改善金属薄膜的性能.适当的热处理不仅能消除内应力,增强界面反应,而且对薄膜的性能有一定的影响.
金属薄膜附着性的改进
【摘 要】
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根据薄膜附着机理,综述了影响金属薄膜附着性的因素.通过引入中间过渡层,减少应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度,改善金属薄膜的性能.适当的热处理不仅能消除内应力,增强界
【机 构】
：
电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2003年6期
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