【摘 要】
：
传统光学光刻技术(OL)由于其固有的限制,虽然可对任意图形成像,但分辨力较低.无掩模激光干涉光刻技术(IL)的分辨力可达λ/4,却局限于周期图形.成像干涉光刻技术(IIL)结合了二
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所
论文部分内容阅读
传统光学光刻技术(OL)由于其固有的限制,虽然可对任意图形成像,但分辨力较低.无掩模激光干涉光刻技术(IL)的分辨力可达λ/4,却局限于周期图形.成像干涉光刻技术(IIL)结合了二者的优点,用同一个系统分次传递物体不同的空间频率,能更有效地传递物体的信息,以高分辨力对任意图形成像.初步模拟研究表明,在同样的曝光波长和数值孔径下,对同样特征尺寸的掩模图形,IIL得到的结果好于OL.在CD=150nm时,IIL相对于OL把分辨力提高了1.5倍多.
其他文献
针对郝现废水处理站废水沿程水质不稳定的问题,分析了油田偏酸性含油废水对沿程水质稳定的影响因素。在前期试验的基础上,对电化学预氧化工艺和水质改性工艺进行方案比选,最
管网叠压（无负压）给水设备进口压力传感器压力设定关系到设备安全及其正常运行。从水力学基础理论入手,根据设备实际运行的工况,给出压力设定值的计算、确定方法和公式。同时,
<正> 1.溴化锂吸收式制冷机的工作原理溴化锂吸收式制冷机的主要部件是两只园筒。上筒内包括发生器和冷凝器,下筒内包括蒸发器和吸收器。这四个热交换器都是由若干热交换管子
上海汽车股份有限公司汽车齿轮总厂(以下简称汽齿总厂)是上海汽车股份有限公司的生产经营母体。它是国内规模最大、技术最先进的汽车变速器总成生产企业。几年来,通过技术改
<正> 浴室的热水通常是蒸汽多孔管通过直接对冷水加热,使水箱中的冷水加热到80℃～90℃。我厂的二只10M~3浴室热水箱就是用这种方式加热的,由于冷热源相变传质热交换,其过程就
2015年3月,政府工作报告提出了＂全民创业、万众创新＂的理念。此理念是对国家发展方向的定位,是对未来中国人的生活方式的预告。＂创业、创新＂应该成为这个民族的思想状态和生活状
很多单片机应用系统常需用到多个串口,但常用的51单片机只有一个串口,而双串口单片机价格较高.本文介绍了一种基于ST16C554、CPLD的高效多串口扩展方法,采用软硬件结合,实现4
通过对二级加压站的供水模式、供水区域内的管网状况、供水量及存在的问题等因素进行综合分析、比对，从可行性和必要性两个方面得出结论：氯胺消毒是适合二级加压站安全供水的消毒方式。
<正> SMH系列燃油添加剂包括SMH(I)型工业炉燃油添加剂及SMH(I)型电厂锅炉燃油添加剂。前者于1984年通过机械部鉴定,获得机械院的重大科技成果奖。1986年参加法国戛纳城举办