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针对固着磨料研磨的特点,通过所建立的数学模型,对固着磨料双面研磨过程中压力的变化进行研究,并对研磨过程的压力实施进行优化,从而找到在研磨过程中最佳的施压方法,以达到对硅晶片、玻璃硬盘基片等进行高速精密和超精密加工的目的.
固着磨料双面研磨压力的优化控制研究
【摘 要】
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针对固着磨料研磨的特点,通过所建立的数学模型,对固着磨料双面研磨过程中压力的变化进行研究,并对研磨过程的压力实施进行优化,从而找到在研磨过程中最佳的施压方法,以达到
【机 构】
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重庆职业技术学院,黑龙江商业大学,长春理工大学
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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全国优秀博士论文作者专项基金
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