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由于电子集成元件的管脚朝着多且细的方向发展,管脚偏移检测要求提高,一般的检测方法不能满足这样高的精度.本文研究了采用光电自动快速检测大尺寸、多管脚集成块管脚位置微偏移的方法,提出了基于多分辨分析(MRA)的微位移的检测技术,达到亚像素的检测精度,具有良好的可靠性 ,解决了大型集成块管脚位置偏差自动化检测问题.