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以正硅酸乙酯为先驱体,用溶胶一凝胶法在Al2O3基体上制备了SiO2无机膜。重点考察了涂膜温度、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响。结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能。添加剂DMF能够均化膜孔径,提高膜的性能。