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2014年，在中央一系列扩大内需、稳增长、淘汰落后产能的各项政策推动和国家科技专项的支持下，我国半导体设备行业加快了自主创新和转型升级的步伐，呈现快速增长趋势。根据中国电子专用设备工业协会对国内35家主要半导体设备制造商的统计，2014年半导体设备完成销售收入40．53亿元，同比增长34．5％；实现利润8．48亿元，同比增长13．8％；出口交货值4．41亿元，同比增长50．5％。