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概述了MEMS的计算机辅助设计的建模、仿真方法.系统级仿真是MEMS计算机辅助设计最重要的环节,而宏模型的建立则是系统级仿真的关键.主要介绍了目前使用得较多的建立宏模型的两种方法--节点分析以及VHDL-AMS,并指出二者在建立宏模型的优缺点.
MEMS的建模与仿真研究
【摘 要】
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概述了MEMS的计算机辅助设计的建模、仿真方法.系统级仿真是MEMS计算机辅助设计最重要的环节,而宏模型的建立则是系统级仿真的关键.主要介绍了目前使用得较多的建立宏模型的
【机 构】
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西南科技大学信息与控制工程学院
【出 处】
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西南科技大学学报
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，国防科技应用基础研究基金，西南科技大学校科研和教改项目
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