【摘 要】
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为了提高钛合金TC6的耐冲蚀性能,采用磁控溅射技术在钛合金上沉积不同Zr（AlCu）N涂层,考察了涂层的硬度、韧性和耐冲蚀性能,采用场发射扫描电镜（FESEM）,X射线衍射（XRD）和X射线光电子
【机 构】
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装甲兵工程学院再制造技术重点实验室
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为了提高钛合金TC6的耐冲蚀性能,采用磁控溅射技术在钛合金上沉积不同Zr（AlCu）N涂层,考察了涂层的硬度、韧性和耐冲蚀性能,采用场发射扫描电镜（FESEM）,X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）分析其微观结构。结果发现：向ZrN涂层中加入20at%Cu后（Zr0.8Cu0.2N）,显著提高了涂层的韧性,而硬度并未明显变化,冲蚀实验表现出塑性材料的冲蚀特征;加入23at%Al后（Zr0.77Al0.23N）,涂层的硬度和韧性显著提高,表现出脆性材料的冲蚀特征;同时加入19at%Al和2at%
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