【摘 要】
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为了测量物体的微振动,提出一种基于自混合干涉(SMI)技术的新型调制方法——双调制。信号发生器产生正弦波输入到激光二极管(LD)控制器中,形成电流调制;三角波驱动电光调制器
【基金项目】
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东北石油大学研究生创新科研项目(YJSCX2017-029NEPU)资助
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为了测量物体的微振动,提出一种基于自混合干涉(SMI)技术的新型调制方法——双调制。信号发生器产生正弦波输入到激光二极管(LD)控制器中,形成电流调制;三角波驱动电光调制器(EOM)实现相位调制;将两种调制方法相结合形成双调制技术。首先,用双调制方法调制物体未振动时的SMI信号,并使用五步相移算法解调;然后,用双调制方法与五步相移算法对物体振动时的SMI信号进行调制与解调,根据物体未振动和振动时的相位得到只由振动引起的相位,进而重构振动物体的微位移。实验结果表明:对峰峰值为2 000nm、频率为10Hz的正弦振动进行测量时,得到的最大重构误差为79.3nm。
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