论文部分内容阅读
<正> 前言根据联合国开发计划署对我所的援助计划,近年来,我们先后对英、法、西德、美国和日本的特种气体行业进行了技术考察。现仅根据考察中的见闻和观感,对当前国际特种气体的技术特点和发展趋势作综合评述如下。一、特种气体的技术构成特种气体主要包括以下四大类別:(1)各种高纯和超高纯单元气。(2)各种精密