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以CuO和Zr为靶材，利用磁控溅射技术，采用最佳工艺条件，在载玻片衬底上沉积了Zr／CuO和CuO／Zr复合膜。利用X射线衍射、扫描电镜和反应性光声光谱技术分别对薄膜样品的晶体结构、表面形貌和反应特性进行了分析和表征。结果表明：复合膜中的Zr和CuO均以晶相形式存在，复合膜由近似球状的纳米粒子构成，在激光能量的刺激下CuO-Zr复合薄膜发生了氧化-还原反应。