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采用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定氟铍酸铵中的8种主要杂质元素。以超声辅助溶解样品，然后用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定氟铍酸铵中的钠、镁、铝、铬、铁、镍、铜、磷等8种杂质元素，8种元素线性相关系数均大于0.999，测定结果的相对标准偏差为0.65%～1.55%(n=6)，检出限在0.2~19.1μg／L之间，定量范围满足氟铍酸铵中8种杂质元素的限量要求。磷的加标回收率为76.7%，其余7种杂质元素的加标回收率在80.9%～95.1%之间，测量准确度满足分析要求。将电感耦合等离子体原子发射光谱法和