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5. Diamond-like carbon films synthesized on bearing steel surface by plasma immersion ion implantation

Diamond-like carbon films synthesized on bearing steel surface by plasma immersion ion implantation

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiang43

【摘 要】

：

Diamond-like carbon (DLC) films were synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID) on 9Cr18 bearing steel surface. Influences of worki

【作 者】

：

LIU Hong-xi TANG Bao-yin WAN 

【机 构】

：

StateKeyLaboratoryofAdvancedWeldingProductionTechnology

【出 处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

plasma IMMERSION ion IMPLANTATION and deposition (PIIID) DIAMOND-LIKE carbon fri 

【基金项目】

：

Project (7001028) supported by the Doctorial Grand from Harbin Institute of Technology

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Diamond-like carbon (DLC) films were synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID) on 9Cr18 bearing steel surface. Influences of working gas pressure and pulse width of the bias voltage on properties of the thin film were investi

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