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期刊论文
VLSI中互连失效及其微测试结构
VLSI中互连失效及其微测试结构
来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:brian125
【摘 要】
:
本文叙述了VLSI中众多互连失效,分析了失效原因及其对器件性能的影响,介绍了检测接触电阻、互连中电迁移的测试结构,讨论了微测试技术的测试结果。
【作 者】
:
张安康
【机 构】
:
东南大学南京210018
【出 处】
:
电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
互连失效
测试结构
可靠性
VLSI
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本文叙述了VLSI中众多互连失效,分析了失效原因及其对器件性能的影响,介绍了检测接触电阻、互连中电迁移的测试结构,讨论了微测试技术的测试结果。
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