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本文叙述了ＶＬＳＩ中众多互连失效，分析了失效原因及其对器件性能的影响，介绍了检测接触电阻、互连中电迁移的测试结构，讨论了微测试技术的测试结果。
VLSI中互连失效及其微测试结构
【摘 要】
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本文叙述了ＶＬＳＩ中众多互连失效，分析了失效原因及其对器件性能的影响，介绍了检测接触电阻、互连中电迁移的测试结构，讨论了微测试技术的测试结果。
【机 构】
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东南大学南京210018
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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1996年1期
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