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浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素
浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素
来源 :中国玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michael_Wong
【摘 要】
:
本文从磁控溅射原理、靶材与镀膜方式的选择等方面阐述了AZO膜的制备方法,探讨了影响AZO薄膜电学性能的因素及变化规律、AZO薄膜的光学特征及其影响因素,对于AZO薄膜商业化面临
【作 者】
:
辛崇飞
何立山
【机 构】
:
信义玻璃控股有限公司
【出 处】
:
中国玻璃
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
磁控溅射
AZO薄膜
电学性能
光学性能
magnetron sputtering AZO film electrical property optical
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本文从磁控溅射原理、靶材与镀膜方式的选择等方面阐述了AZO膜的制备方法,探讨了影响AZO薄膜电学性能的因素及变化规律、AZO薄膜的光学特征及其影响因素,对于AZO薄膜商业化面临的问题给出了作者的看法。
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