浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素

来源 :中国玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michael_Wong
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本文从磁控溅射原理、靶材与镀膜方式的选择等方面阐述了AZO膜的制备方法,探讨了影响AZO薄膜电学性能的因素及变化规律、AZO薄膜的光学特征及其影响因素,对于AZO薄膜商业化面临的问题给出了作者的看法。
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