【摘 要】
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制备了厚度为25～225nm的C、Al、Ti、Cu、Nb、Mo、Ag、Ta和W9种纯元素薄膜样品，用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度pz，并用电子探针测定了软X射线CKα、BKα的出射强度几和穿过
【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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制备了厚度为25～225nm的C、Al、Ti、Cu、Nb、Mo、Ag、Ta和W9种纯元素薄膜样品，用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度pz，并用电子探针测定了软X射线CKα、BKα的出射强度几和穿过薄膜后的强度I根据X射线通过物质时的指数衰减定律：I／I0＝e－μpz得到了这9种纯元素对CKα、BKα辐射的质量吸收系数μ，并与以往的数据进行比较
The thin film samples of pure elemental C, Al, Ti, Cu, Nb, Mo, Ag, Ta and W with the thickness of 25 ~ 225nm were prepared. The mass thickness pz of the film was measured by chemical analysis method. According to the law of exponential decay of X-ray when passing through the material: I / I0 = e-μpz The mass absorption of CKα and BKα radiation by these 9 pure elements is obtained Coefficient μ, and compared with the previous data
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